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  • 1100℃雙工位手套箱加熱爐系統(tǒng)
  • 1600℃頂吹氫氣還原系統(tǒng)
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  • 1200℃三溫區(qū)尾氣過(guò)濾旋轉(zhuǎn)爐(Φ130mm異形石英管、配備冷阱與真空管路加熱帶)
  • 1200℃升華沉積收集系統(tǒng)
  • 1100℃小型高溫感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng)
  • 大口徑管式爐連接手套箱系統(tǒng)
  • 1200℃頂部籽晶法晶體生長(zhǎng)爐
  • 大型500℃熱循環(huán)烘箱(2.6×1.3×1.4m,4732L,程序化控溫)
  • 1100℃磁場(chǎng)爐(外徑Φ100mm)
  • 四電弧單晶生長(zhǎng)系統(tǒng)(4電弧熔樣品,3000℃,可轉(zhuǎn)動(dòng)水冷銅坩堝)
  • 1200℃&130管徑mistcvd系統(tǒng)
  • 1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:36L,高溫開(kāi)門取放樣,無(wú)門堵)
  • 1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:19L,高溫開(kāi)門取放樣,無(wú)門堵)
  • 1200℃雙爐氫化物氣相外延系統(tǒng)(HVPE)
  • 1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:3.4L,高溫開(kāi)門取放樣,無(wú)門堵)
  • 1400℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1400℃,容積:8L,高溫開(kāi)門取放樣,無(wú)門堵)
  • 1200℃梯度可調(diào)提拉式晶體爐
  • 900℃雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD爐(配備不銹鋼異形耐壓管,最大壓力0.1MPa)
  • 1200℃手套箱連體管式爐系統(tǒng)
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