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高速自動(dòng)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（CMP,300mm底盤,配自動(dòng)送料器）
型號(hào)：
UNIPOL-1203
產(chǎn)品概述：
UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機(jī)研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀，全自動(dòng)觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
產(chǎn)品名稱型號(hào)

·化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī) UNIPOL-1203
特點(diǎn)

·超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。

·超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤端跳小于0.01mm）。

·設(shè)有兩個(gè)加工工位，可分別進(jìn)行控制。

·配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板，可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。

·配置自動(dòng)滴料器，流量速率可視化調(diào)整，自動(dòng)研磨和拋光。

·配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調(diào)節(jié)壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。

·研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕。
磨拋主機(jī)基本參數(shù)

·設(shè)備供電端口：AC220V 50Hz

·總功率：500W(MAX)

·磨拋盤直徑：Φ300 mm 鑄鐵花盤、不銹鋼平盤各1個(gè)

·載樣盤直徑：Φ105 陶瓷平板載樣盤、陶瓷修盤環(huán)各1個(gè)

·工位數(shù)：2位

·主驅(qū)動(dòng)電機(jī)：精密伺服電機(jī) 0.45KW

·擺臂驅(qū)動(dòng)電機(jī)：直流減速電機(jī) DC24V 0.8W

·下磨拋盤轉(zhuǎn)速：1-240rpm（速度可調(diào)）

·擺臂速度檔位：1-15擋可調(diào)

·控制方式：觸摸屏

·設(shè)備外形尺寸：L550×W700×H420mm

·凈重：≈82Kg
GPC-100A 精密磨拋控制儀（機(jī)械手）

·載樣盤直徑：?103mm

·載樣盤軸向行程：12mm

·數(shù)顯表精度：0.001mm

·載樣盤可調(diào)加載壓力：0.1kg-2.0kg

·壓力確認(rèn)儀有效量程：1-5000g

·樣品裝卡方式:真空吸附

·承載樣件尺寸:直徑≤103mm、厚度≤12mm

·外形尺寸: 外徑Φ146mm，高266mm
SKZD-2 滴料器（滾桶攪拌）

·設(shè)備供電端口：DC12 2A (標(biāo)配電源適配器 IN:AC100-240V OUT：DC12V 2A）

·滴液工位（滴液泵）：4個(gè)(1-4位轉(zhuǎn)換滴液）

·料液瓶容積：500ml/瓶

·驅(qū)動(dòng)控制方式：精密步進(jìn)電機(jī)+蠕動(dòng)泵+單板機(jī)控制器

·滴液方式：蠕動(dòng)定量滴液

·流量：0.1ml/min-10ml/min（速度可調(diào)）

·運(yùn)行方式：定時(shí)運(yùn)行：范圍：1-999min

·外形尺寸：L230×W370×H450mm
AP-1400V 無(wú)油真空泵

·設(shè)備供電端口：AC220V 50Hz 450W

·氣流量max：7.2m3/h

·真空度max：-700mmHg（-91KPa）

·噪音：≤60db

·熱保護(hù)器：自動(dòng)復(fù)位 130℃±5℃

·外形尺寸：L204×W125×H181mm
應(yīng)用提示

·設(shè)備供電為國(guó)標(biāo)單相交流 220V 50Hz，實(shí)際供電參數(shù)以產(chǎn)品后部粘貼標(biāo)牌為準(zhǔn)。

·可按用戶要求定制各種磨拋盤，特殊載樣盤、卡具，專用零部件等
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附件

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